Ø优异的真空性能
MDP系列分子泵可达到1e-5Pa(橡胶密封)的极限真空,在低真空可获得较大抽速,在 1e-1~1e-4Pa的范围内达到较大的抽速,在一般应用领域可达到与常规分子泵相同的性能。在0.1Pa阶段,MDP系列分子泵的抽速更远高于比它更大的机械泵和罗茨泵。
由于转子采用特殊结构设计,使得MDP系列分子泵比使用叶片的涡轮分子泵有更优异的抗大气冲击的性能,同时便于粉尘排出。可承受大气直接冲击。
Ø能获得清洁真空的无油干泵
MDP系列分子泵的最大排气压力可达4000Pa。对油分子等大分子有较大抽速。
Ø便于维护管理
由于结构的优化,即便异物掉入MDP系列分子泵并造成转子抱死这样的严重故障,也不会将排气槽击断。通过打磨掉产生的毛刺,泵可以修复至正常工作的状态,而不会像常规分子泵那样完全报废。
Ø节能效果显著
与扩散泵、罗茨泵相比具有节能、噪音低等优势。
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